耐腐蚀真空机组的检测步骤很多，根据被检测零件的状态可分为加压检漏法、真空检漏法和其他检漏法。
1.加压检漏法：以一定的压力将检漏物质填充到被测零件的外部，然后在被测零件上形成一个漏孔，通过一定的步骤或仪器在被测零件内部检测从漏孔泄漏的检漏物质，从而判断漏孔的存在、位置和泄漏率。这就是所谓的加压检漏法。
2.耐腐蚀真空机组的真空检漏法：被检零件和检漏仪的敏感元件处于真空状态。如果有泄漏孔，泄漏物质将通过泄漏孔进入被检零件与敏感元件之间的空间，敏感元件将检测并显示泄漏物质，从而能够判断泄漏孔的存在和泄漏率的位置。这就是真空检漏法。
3.其他检漏方法：被检零件既不加压也不抽真空，或者其内压包含在其他检漏方法中。背压法是其中一个重要步骤。
所谓回压检漏法，是利用回压室将透明气体从漏孔填充到被测零件中，然后使透明气体在耐腐蚀真空机组真空状态下从被测零件中漏出的步骤。在该步骤(或泄漏检测器)中，检测泄漏的透明气体，并确定被测部件的总泄漏率。
小编：颁补蝉别测
